dépôt chimique en phase vapeur à haute température
- dépôt chimique en phase vapeur à haute température
- aukštatemperatūris cheminis garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. high-temperature chemical vapor deposition
vok. chemische Hochtemperaturabscheidung aus der Gasphase, f
rus. высокотемпературное химическое осаждение из паровой фазы, n
pranc. dépôt chimique en phase vapeur à haute température, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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